【摘 要】
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采用气态源分子束外延（GSMBE）生长技术结合常规半导体工艺制成了正进光台面型8元In0．53Ga0．47As／InP光伏探测器阵列，并对其特性进行了测量，结果表明GSMBE生长的材料具有很好的均匀性
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
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采用气态源分子束外延（GSMBE）生长技术结合常规半导体工艺制成了正进光台面型8元In0．53Ga0．47As／InP光伏探测器阵列，并对其特性进行了测量，结果表明GSMBE生长的材料具有很好的均匀性。探测器阵列在室温下具有良好的性能，在一10mV反偏下探测器的暗电流约173pA，单元间的相对标准差为1．3％；器件的峰值探测率为4．7×10^11cm·Hz^1/2／W，单元间的相对标准差为0．9%。
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