【摘 要】
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激光微纳加工是通过激光与材料相互作用，改变材料的物态和性质，实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性。由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量
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激光微纳加工是通过激光与材料相互作用，改变材料的物态和性质，实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性。由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量的可控尺度都可分别趋于极端，而使制造过程所利用的物理效应、作用机理完全不同于传统制造，其制造复杂结构的能力与品质远高于传统制造，由此产生了一批新技术（如光刻、近场纳米制造、干涉诱导加工、微焊接等）、一批新产品（如大规模集成电路、MEMS／NEMS等）、一批产品的高性能化（如航空发动机、燃气轮机、太阳能电池等）和相应的高新技术产业群。
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