【摘 要】
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区熔单晶硅与直拉单晶硅以及其他半导体材料相比杂质含量少,少子寿命长,所以以区熔单晶硅为衬底制作的光晶体管在弱的光信号下仍然有高的增益,适宜于弱光探测.报道了以区熔单
【机 构】
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北京师范大学低能核物理研究所,意大利国家原子核物理研究院比萨分院
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区熔单晶硅与直拉单晶硅以及其他半导体材料相比杂质含量少,少子寿命长,所以以区熔单晶硅为衬底制作的光晶体管在弱的光信号下仍然有高的增益,适宜于弱光探测.报道了以区熔单晶硅为衬底的光晶体管的实验结果.为了保持区熔高纯单晶硅内的少子寿命,背面淀积了一层掺磷多晶硅作为外吸杂层.已经测量得到对于实验中发射极直径为2mm的光晶体管在波长为0.83 μm的入射光照射下,光功率低至0.16 nW时,光晶体管的增益仍然高达4400.
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