【摘 要】
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以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)为单体,偶氮二异丁腈为引发剂,采用溶液自由基聚合方法,合成了甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂,研究了合成工艺对产物
【基金项目】
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国家科技部科技人员服务企业行动项目:高分辨率感光干膜的研究与产业化(2009GJD20007)
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以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)为单体,偶氮二异丁腈为引发剂,采用溶液自由基聚合方法,合成了甲基丙烯酸酯类光刻胶成膜树脂,研究了合成工艺对产物分子量及分子量分布的影响,并对其在光刻胶中的应用性能,如碱溶性、涂膜表面干燥性、感度和分辨率等进行了初步考察。结果表明,在引发剂用量为单体用量的0.6%~1%、反应温度80~85℃、3次进料条件下,制得的聚合物的重均分子量为44 341~53 696,分子量分布为3.66~5.69,由单体质量比MAA∶MMA∶BA为25∶50∶25的成膜树脂配制的光刻胶,分辨率达35μm。
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