GaN-MOVPE寄生反应的密度泛函理论研究

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利用量子化学的密度泛函理论,探讨了TMG(Ga(CH3)3)/NH3/H2体系中的气体反应机理,特别关注了氨基物DMGNH2的形成及其后的纳米粒子形核路径。通过计算不同温度下不同反应路径上Gibbs自由能的变化,从热力学和动力学两方面分析纳米粒子形核可能的产物。研究发现当T<622 K时,氨基物DMGNH2可由加合物TMG:NH3脱去CH4生成,也可由TMG和NH3双分子碰撞直接生成;当T>622 K时,氨基物DMGNH2直接由TMG和NH3双分子碰撞反应生成。当662.5 K<T<
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