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将谐振原理应用于硅微机械加速度计中,可以改善后者输出信号的质量,降低检测难度.随着微机电系统工艺的发展,谐振式微加速度计已成为硅微机械加速度计发展的新趋势.
谐振原理在硅微机械加速度计中的应用
【摘 要】
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将谐振原理应用于硅微机械加速度计中,可以改善后者输出信号的质量,降低检测难度.随着微机电系统工艺的发展,谐振式微加速度计已成为硅微机械加速度计发展的新趋势.
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2002年4期
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