基于喷墨打印的圆形电极结构薄膜晶体管制备与研究

来源 :吉林建筑大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lvtao_cn
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近年来,随着高密度、低能耗的电子器件迅速发展,对薄膜晶体管(TFT)器件的电极结构设计提出了更高的要求.其中,圆形电极结构不仅可减少在TFT器件中所占版图面积,而且又能较好地解决传统不闭环结构电极中央与端部之间机械和电学行为不同的问题,成为了未来微型显示驱动领域的研究热点.此外,传统薄膜晶体管电极的制备需要通过掩膜版光刻来形成图案化的电极,这不仅导致步骤数量增加而且图案化电极性能直接受到刻蚀剂等废液的影响.而喷墨打印工艺具备独特的非接触式加工方式、受环境影响小和高效率等优点,可打印较为复杂的结构,受到TF
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