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随着科学技术的发展,多晶硅的应用量越来越大,生产成本伴随着不断的技术创新而逐步降低。在我国多晶硅生产工艺主要采用的是改良西门子法,而改良西门子法采用闭式工艺,其中实现闭式工艺的主要流程就是冷氢化工艺,为确保冷氢化装置长期平稳运行,介绍了文丘里旋风洗涤技术的设计方法、实际应用和现场操作中注意事项。