【摘 要】
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短波红外铟镓砷(InGaAs)探测器材料的表面缺陷是发展大规模小像元焦平面阵列的核心问题之一,其中与衬底晶格失配的延伸波长探测器材料的表面缺陷控制起来尤为困难。优化了分
【机 构】
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哈尔滨理工大学理学院,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
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黑龙江省自然科学基金项目(LH2019F022),国家重点研发计划项目(2016YFB0402401)
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短波红外铟镓砷(InGaAs)探测器材料的表面缺陷是发展大规模小像元焦平面阵列的核心问题之一,其中与衬底晶格失配的延伸波长探测器材料的表面缺陷控制起来尤为困难。优化了分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)In束源炉的温度设置。结果表明,In炉上下温差为130℃时所生长的短波红外晶格失配In0.83Ga0.17As材料的表面缺陷密度最小,由此有效地将材料的表面缺陷密度由3000 cm-2左右降至约500 cm-2。结合短波红外晶格失配InGaAs材料的室温光致发光测试,经分析可知
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