【摘 要】
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采用联苯四羧酸二酐（PMDA）和对苯二胺（PDA）为二酐和二胺，以N，N-二甲基乙酰胺（DMAc）为溶剂制备了聚酰胺酸溶液（PAA）．采用旋涂工艺，以K9玻璃或调制模版为衬底，制备了聚酰亚胺（PI）平面／调制薄膜．
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采用联苯四羧酸二酐（PMDA）和对苯二胺（PDA）为二酐和二胺，以N，N-二甲基乙酰胺（DMAc）为溶剂制备了聚酰胺酸溶液（PAA）．采用旋涂工艺，以K9玻璃或调制模版为衬底，制备了聚酰亚胺（PI）平面／调制薄膜．对其厚度、结构、表面粗糙度和表面调制图形进行了测量，研究了其厚度与旋涂速度和PAA溶液浓度的对应关系．结果表明，PAA溶液在马弗炉中进行370℃热处理，可以完全转化为PI；通过旋涂法制备PI平面薄膜的平均粗糙度Ra的最大值和最小值分别为3．7nm和3．1nm；PI平面薄膜最小厚度为1μm，且其厚
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