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密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一,这里采用微差压原理,利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置,实现了对一定容积和压力下密封器件气密性的高精度检测.介绍了该检测仪的工作原理、硬件软件结构和系统性能.
一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究
【摘 要】
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密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一,这里采用微差压原理,利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置,实现了对一定容积和压力下密封器件气
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所,安徽中科智能高技术有限公司
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2002年z3期
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