【摘 要】
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通过模拟前道工序的实际装配环境，研究了镀镍钯金基板在不同工况条件和不同钯/金层厚度情况下对表面键合强度的影响。结果表明，通过280℃高温回流后，镀层表面会出现少量Cu元素，但对键合强度影响不大。Au/Pd镀层厚度增加均有利于提高可键合性。在本文的镀层体系中，均可完成高可靠性键合。通过150±3℃，168 h的高温贮存试验表明，Pd和Au界面均可作为键合界面，高温贮存前后平均键合强度均在11 cN以
【基金项目】
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技术基础科研项目（JSBZ2022210A001）；
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通过模拟前道工序的实际装配环境，研究了镀镍钯金基板在不同工况条件和不同钯/金层厚度情况下对表面键合强度的影响。结果表明，通过280℃高温回流后，镀层表面会出现少量Cu元素，但对键合强度影响不大。Au/Pd镀层厚度增加均有利于提高可键合性。在本文的镀层体系中，均可完成高可靠性键合。通过150±3℃，168 h的高温贮存试验表明，Pd和Au界面均可作为键合界面，高温贮存前后平均键合强度均在11 cN以上，满足标准且非常稳定。
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