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原位集成微透镜能够在不改变封装结构的情况下,实现对入射光的汇聚效果,有效提升信号并降低串音,对于中波10μm小间距碲镉汞焦平面探测器的性能提升具有重要意义。本文设计并制备出了10μm小间距原位集成微透镜,成功实现了信号增强效果,器件的噪声等效温差(NETD)得到有效降低。
中波10μm小间距原位集成微透镜技术
【摘 要】
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原位集成微透镜能够在不改变封装结构的情况下,实现对入射光的汇聚效果,有效提升信号并降低串音,对于中波10μm小间距碲镉汞焦平面探测器的性能提升具有重要意义。本文设计并
【机 构】
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华北光电技术研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2021年3期
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