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基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析
基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析
来源 :传感器技术 | 被引量 : 8次 | 上传用户:ahhscyf
【摘 要】
:
条纹处理是微位移测量系统的关键 ,从条纹去噪入手 ,分别介绍了去噪装置、判向变频系统及条纹的细分方法 ,有效地解决了传统系统中由于噪声、位移方向误判等因素造成的错误计数 ,提高了系统测量的准确度。同时对系统测量准确度进行了深入分析。
【作 者】
:
赵育良
张忠民
【机 构】
:
海军航空工程学院青岛分院
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2002年07期
【关键词】
:
线阵CCD
微位移
准确度
位移测量系统
条纹处理
激光干涉
linear CCD
microdisplacement
interference
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条纹处理是微位移测量系统的关键 ,从条纹去噪入手 ,分别介绍了去噪装置、判向变频系统及条纹的细分方法 ,有效地解决了传统系统中由于噪声、位移方向误判等因素造成的错误计数 ,提高了系统测量的准确度。同时对系统测量准确度进行了深入分析。
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