基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析

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条纹处理是微位移测量系统的关键 ,从条纹去噪入手 ,分别介绍了去噪装置、判向变频系统及条纹的细分方法 ,有效地解决了传统系统中由于噪声、位移方向误判等因素造成的错误计数 ,提高了系统测量的准确度。同时对系统测量准确度进行了深入分析。
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