半导体制造系统(FAB)设备维修策略

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根据役龄回退参数的不同取值,建立了半导体设备预防性维修后的平均单位产值模型,利用仿真方法确定最佳预防性维修周期和次数,阐述了役龄回退参数对预防性维修周期的影响和预防性维修对企业增加利润的重要性,对未来的研究工作进行了展望。 According to the different values ​​of service rollback parameters, the average unit output value model of semiconductor equipment after preventive maintenance is established. The simulation method is used to determine the optimal preventive maintenance cycle and the number of times, and the service rollback parameters are analyzed to predict the preventive maintenance cycle The impact of preventive maintenance and repair companies on the importance of increasing profits, the future research work is prospected.
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