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微型机械电子系统是现代物理（介观物理、混沌物理、量子力学等）和高新技术（计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等）互相融合的先进科技，是２１世纪科学技术发展的前沿领域，本文介绍微型机械电子系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。
微型机械电子系统的现在与未来
【摘 要】
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微型机械电子系统是现代物理（介观物理、混沌物理、量子力学等）和高新技术（计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等）互相融合的先进科技，是２１世纪科学技术发展的前沿领域，本文介绍微
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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1999年02期
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