透明导电薄膜(Ⅲ):TCO/M/TCO三层透明导电薄膜

来源 :辽宁科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:thonary09
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TCO/M/TCO三层透明导电薄膜具有可见光区透光率高、导电性好且超薄的特点,适用于包括柔性基底在内的电子器件的透明导电电极.本文阐述三层透明导电氧化物/金属/透明导电氧化物(TCO/M/TCO)薄膜透光导电原理,厚度设计及其对光电性能的影响,金属层的选择及作用机制,溅射氛围和后处理工艺对薄膜性能的影响.
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