【摘 要】
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微系统是指集成了微电子和微机械(或光学、化学、生物等方面的微元件)的系统。它以微米尺度理论为基础,用批量化的微电子技术和三维加工技术制造,用以完成信息获取、处理及执
【机 构】
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上海微系统与信息技术研究所; 上海微系统与信息技术研究所 上海200050; 上海200050; 上海200050;
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微系统是指集成了微电子和微机械(或光学、化学、生物等方面的微元件)的系统。它以微米尺度理论为基础,用批量化的微电子技术和三维加工技术制造,用以完成信息获取、处理及执行的功能。阐述了国内外微系统技术及其产业发展的历程、现状和趋势,比较分析了我院微系统技术发展现状。基于以上分析讨论,提出了我院微系统发展战略。最后提出了对我院微系统产业发展的思考。
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