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期刊论文
类金刚石碳膜作为红外元件减反射膜的研究
类金刚石碳膜作为红外元件减反射膜的研究
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aini826611
【摘 要】
:
本文以甲苯为工作气体,先用高频辉光放电等离子体CVD方法制备出类金刚石碳膜,研究了它的光吸收和红外增透性,以及在Si、Ge等红外元件上作为减反射膜的应用。
【作 者】
:
毛友德
刘声雷
杨国伟
【机 构】
:
合肥工业大学应用物理系,合肥工业大学应用物理系合肥230009,合肥230009
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1991年2期
【关键词】
:
类金刚石
碳膜
红外器件
反射膜
rfPCVD
Diamond-like Carbon Film
Antireflection Coating
【基金项目】
:
机电部机械工业技术发展基金,编号:86J7720
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本文以甲苯为工作气体,先用高频辉光放电等离子体CVD方法制备出类金刚石碳膜,研究了它的光吸收和红外增透性,以及在Si、Ge等红外元件上作为减反射膜的应用。
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