CVD金刚石薄膜的掺硼研究

来源 :天津理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mingxing10192009

【摘要】

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主要介绍硼掺杂金刚石膜的生长.采用热灯丝CVD法在硅上制备金刚石薄膜,采用三氧化二硼制备硼掺杂金刚石膜.利用拉曼光谱分析硼掺杂金刚石膜的生长情况.结果表明:硼的掺杂质量

【作者】

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潘鹏常明朱亚东

【机构】

：

天津理工大学

【出处】

：

天津理工大学学报

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

金刚石薄膜热灯丝CVD 硼拉曼光谱 diamond film Boron-Doped HF-CVD

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主要介绍硼掺杂金刚石膜的生长.采用热灯丝CVD法在硅上制备金刚石薄膜,采用三氧化二硼制备硼掺杂金刚石膜.利用拉曼光谱分析硼掺杂金刚石膜的生长情况.结果表明:硼的掺杂质量分数随生长时间延长而增大;利用SEM观察硼掺杂金刚石膜的表面晶粒变小;利用银浆在掺杂金刚石膜表面制备电极,测试电流随温度升高而变大.

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