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生物芯片技术是90年代初发展起来的一门新兴技术,将给21世纪生命科学和医学研究带来一场革命.其中生物芯片中的微阵列分析最为关键,尤其受到人们的关注和研究.微阵列形成主要由各种探针接触式点样而得的.微机电系统(MEMS)的兴起和发展为点样探针的制备提供了简单而有效的微细加工技术.介绍了基于MEMS技术的SiO2基微悬臂梁探针的设计和制备,并用这种探针进行Cy3标记链亲和素点样.结果表明这种微悬臂梁探针可以点样2～3μm的样点,并且一次取样可以点样至少3000个点,从而实现高价生物微阵列点样.