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针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针物理模型,基于针尖与导体平面间电场分布假设,提出计算扫描探针针尖与导体平面间的静电力解析模型.该模型模拟计算结果与采用等效电荷方法数值计算结果相一致.
扫描探针针尖与试样间静电力的解析方法
【摘 要】
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针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针物理模型,基于针尖与导体平面间电场分布假设,提出计算扫描探针针尖与导体平面间的静电力解析模型.该模型模拟计算结果与采用等效电荷
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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机械科学与技术
【发表日期】
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2005年12期
【基金项目】
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中国科学院资助项目
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