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采用微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）方法在单晶硅片上制备光学级透明金刚石膜，利用傅里叶红外分光光度计和紫外一可见分光光度计分别测试不同厚度金刚石膜的红外光和紫外-可见光波段的透过率，并分析了测试结果．
光学级透明金刚石膜的性质
【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）方法在单晶硅片上制备光学级透明金刚石膜，利用傅里叶红外分光光度计和紫外一可见分光光度计分别测试不同厚度金刚石膜的红外光和紫外-可
【机 构】
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长春大学特殊教育学院,哈尔滨理工大学理学院,吉林大学原子与分子物理研究所,长春大学理学院
【出 处】
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吉林大学学报(理学版)
【发表日期】
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2008年1期
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