【摘 要】
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设计一种能同时进行两维测量的、智能化的数显式自准直仪,该光学仪器可用来进行小角度测量。系统设计波长为670nm,为了达到1m的焦距,同时也缩小系统的体积,自准直仪采用折返
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设计一种能同时进行两维测量的、智能化的数显式自准直仪,该光学仪器可用来进行小角度测量。系统设计波长为670nm,为了达到1m的焦距,同时也缩小系统的体积,自准直仪采用折返式结构。系统中使用位置敏感探测器(PSD)作为接收器,仪器的指标满足设计要求:测量范围为±6′,精度为0.1″。通过Zemax仿真对自准直仪主光路进行设计及优化,出射为平行光束,由足迹图观测被测面接收到的光分布均匀,能够满足实际生产中的需要。
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