论文部分内容阅读
研究了利用压力位移气动传感方法和扩散硅压力传感器所组成的系统,通过理论和实验方法对系统的特性、误差进行了分析,对系统的非线性进行修正后,可实现测量范围达100μm,测量精度为±lμm的要求.
扩散硅压电转换气动位移传感器特性分析
【摘 要】
：
研究了利用压力位移气动传感方法和扩散硅压力传感器所组成的系统,通过理论和实验方法对系统的特性、误差进行了分析,对系统的非线性进行修正后,可实现测量范围达100μm,测量精度为±lμm的要求.
【机 构】
：
合肥工业大学精密仪器系
【出 处】
：
传感技术学报
【发表日期】
：
1996年02期
其他文献
针对已有分簇算法中簇头选择不合理及传输距离过长的缺陷，提出了用于构建分布式簇树骨干网的EACT算法。算法引入了图论中极大权极大独立集和根树的概念，并借助簇头轮换机制均衡
用ＥＨＭＯ方法计算了ＳｎＯ２（１１０）面原子簇模型，并计算了表面存在氧空位和氧原子吸附的情况，计算结果表明，表面本配位锡原子是吸附中心，因电子得失而引起的原子净电荷变化是完全定域的。
简介纳米压痕系统的基本原理及其关键部件施协传感器和扫描传感器的设计方法，最后，阐述施载／描扫集成结构的实现。
为了研究原子尺度下摩擦力波动现象产生的本质，利用分子动力学模拟的方法从摩擦力波动周期的角度对其进行探讨．模拟过程中分别讨论了固液作用强度、速度以及壁面晶格长度对其波
给出了一种基于声循环（ｓｉｎｇ－ａｒｏｕｎｄ）技术的轧辊形在线检测方案，根据应用环境的特点对该技术进行了必要的改进，采用双阈值得到更为精确的脉冲起始时间，提高了系统检测精度，在实验室条件下进行了仿真实验，给出了实验数据，并对误差进行了分析．证明该方法是可行的．
对那些今天处理(讨论)电子接口的人来说,世界是串行的.在电路板上,新的接口正在建立,现有接口的新版本也正在用串行方式进行定义.并行接口仅限于CPU内部和CPU到CPU的支持功能
提出的光纤高温传感器解决了辐射测过程中固体发射率的瞬态变化影响的问题并对测量系统的误差进行了分析，也给了实验结果。
分析了Casimir力对旋转式纳电子机械（NEMS）致动器动态稳定性的影响．计及Casimir效应时，旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关．外加电压为零时，导出了旋转式
采用微探针电极阵列对大鼠嗅粘膜神经递质进行了在体检测.基于MEMS技术,制备了具有8通道电极阵列的微探针芯片.每一电极的传感器表面为16μm×120μm或0.3μm×120μm尺寸.采用循环伏安法,该探针可以检测到50nM浓度的多巴胺.将探针固定于大鼠鼻腔嗅粘膜,对多巴胺等单胺类神经递质进行了在体检测.通过二氧化碳诱导的三叉神经刺激动物模型的研究,证明微探针适合于神经递质的多位点实时测量.