基于磁偏转的真空弧离子源成分诊断

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采用磁偏转的方法,对金属氢化物电极真空弧离子源放电产生的等离子体进行了成分诊断.采用了TiD2电极材料进行放电,测量了在30-80A弧流情况下的各离子的组分.实验结果表明,弧流越大时等离子体的密度越大,在现有引出结构下,由于等离子体发射面的凹凸变化导致测得的离子信号出现双峰.通过增加栅网可以减少等离子密度,双峰情况会有所减少.另外,随着弧流增大,氘所占比例会有所增加,弧流达到60 A以上氘含量增幅不明显.
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