多层间隔式结构多孔硅冷阴极电子发射的研究

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在多孔硅(PS)表面电子发射冷阴极中采用间隔式多层结构。由此,器件电子发射效率显著提高,在32.5V偏压下,发射效率达13.5%,发射电流密度29μA/cm^2;工作电流和发射电流的波动性明显减小;器件稳定性得到提高。
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