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提出了一种新型具有掩埋电极的金属-半导体-金属（MSM）探测器原型器件结构，并用数值计算的方法研究了其激活层内电场的分布特性，讨论了掩埋电极深度对电场分布的影响，并与传统平面叉指电极结构进行比较，得出该结构对器件性能改善具有重要的作用。
MSM结构平面及掩埋叉指电极间电场的分布特性
【摘 要】
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提出了一种新型具有掩埋电极的金属-半导体-金属（MSM）探测器原型器件结构，并用数值计算的方法研究了其激活层内电场的分布特性，讨论了掩埋电极深度对电场分布的影响，并与传统平面
【机 构】
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西安交通大学应用物理系,西安理工大学应用物理系
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2006年4期
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