【摘 要】
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本文介绍一种光刻物镜结构型式,它具有象方远心物方近远心准衍射极限成象性能。采用本结构型式设计的光刻物镜系列,不仅在大的线视场范围内有很高的分辨率,而且还能保持较佳
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本文介绍一种光刻物镜结构型式,它具有象方远心物方近远心准衍射极限成象性能。采用本结构型式设计的光刻物镜系列,不仅在大的线视场范围内有很高的分辨率,而且还能保持较佳的套刻精度。设计中对高级象差以及弧矢象差均做了特殊考虑。最后给出光学参数分别为倍率г=10倍,数值孔径NA=O.28;г=5倍,NA=0.2物方线视场均为φ=140mm两种设计结果的传递函数曲线。
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