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聚二甲聚硅氧烷（PDMS）气动微泵具有结构简单、易于制作、造价低和易于集成的特点。对微泵的结构进行了分析、设计与制作,较详细地讨论了关键制作工艺,并对影响流速的主要因素进行了分析,通过对结构参数的优化,使微泵的最大流速达到0.55μL/min,较相关文献中的微泵的流速提高4倍,使微泵更具有实用性。