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表面起伏靶是惯性约束聚变分解实验中的重要实验用靶。采用激光干涉方法制备初始微扰振幅和波长分别在几和几十微米范围内的正弦调制形状，摸索了相应的工艺条件和工艺过程。用台阶仪及光学显微轮廓仪观测微加工后的形貌。探讨了调制波长的精确控制与干涉工艺之间的关系，并用电镀工艺转移图形得到了用于压制的模具。
用激光干涉法制备平面调制靶的表面起伏图形
【摘 要】
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表面起伏靶是惯性约束聚变分解实验中的重要实验用靶。采用激光干涉方法制备初始微扰振幅和波长分别在几和几十微米范围内的正弦调制形状，摸索了相应的工艺条件和工艺过程。用
【机 构】
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同济大学波耳固体物理研究所,同济大学化学系
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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1996年1期
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