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期刊论文
超薄防护涂层在微波电路中的应用研究
超薄防护涂层在微波电路中的应用研究
来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:www_acafa_com
【摘 要】
:
应用真空气相化学沉积的工艺方法,在电路板上聚合一层均匀,致密,透明的有机薄膜,并介绍了薄膜的防护性能和介电性能以及在微波电路中的应用情况。
【作 者】
:
苗枫
张娟
【机 构】
:
西安电子部二十所
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
敷形涂覆
预聚体
微波集成电路
超薄防护涂层
Vacuum chemical vapor deposition Conformal coatings Prepo
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应用真空气相化学沉积的工艺方法,在电路板上聚合一层均匀,致密,透明的有机薄膜,并介绍了薄膜的防护性能和介电性能以及在微波电路中的应用情况。
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