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AlN陶瓷具有优良的综合性能,在微电子和微波真空管等电子工业领域中,将有广泛的应用。着重介绍了近期国内外有关AlN陶瓷金属化的配方和工艺及其气密封接方法。
氮化铝陶瓷的金属化技术
【摘 要】
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AlN陶瓷具有优良的综合性能,在微电子和微波真空管等电子工业领域中,将有广泛的应用。着重介绍了近期国内外有关AlN陶瓷金属化的配方和工艺及其气密封接方法。
【机 构】
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机电部12研究所
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
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1992年06期
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