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宏模型的获取是由Krylov子空间投影法结合器件级有限元分析的宏建模方法来实现，利用此模型和基于可重用IP设计思想的系统级组件建模方法建立由VHDL-AMS语言描述的梳齿谐振器系统级模型，在华大VDE仿真平台上搭建出了梳齿谐振器的系统模型，并进行一系列的仿真，包括时域阶跃、交流电压信号仿真和频域交流小信号仿真，仿真结果与商用仿真工具ANSYS仿真结果保持良好的一致．