论文部分内容阅读
介绍了现有四臂压电式加速度计的工作原理及ANSYS软件在压电式加速度计方面的应用。将传统的四臂压电式加速度的悬臂梁改用沟槽式结构。并使用ANSYS软件进行仿真分析，发现沟槽结构的加速度计的灵敏度可以高达0．6335mV／gn，远高于平坦基体表面结构式加速度计的灵敏度（0．28195mV／gn）。