变栅距光栅衍射强度分布的一般公式及其应用

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本文给出了不等距光栅衍射光强度分布的一般公式,并引出了衍射一干涉复合因子的概念.同时,以一种采用不等距光栅的光位移传感器为例,利用不等光栅衍射光强度分布一般公式对其进行了计算和分析.
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