【摘 要】
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该文针对ＶＬＳＩ系统集成度提高后产生的一些问题，提出了将超导／半导兼容技术应用于微电子技术中，并对超导／半导兼容材料的制作以及超导／半导兼容技术，包括超导引线、超导／半导兼容器件与ＩＣ、
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该文针对ＶＬＳＩ系统集成度提高后产生的一些问题，提出了将超导／半导兼容技术应用于微电子技术中，并对超导／半导兼容材料的制作以及超导／半导兼容技术，包括超导引线、超导／半导兼容器件与ＩＣ、超导／半导混合ＩＣ进行了讨论．
In this paper, aiming at some problems arising from the improvement of VLSI system integration, this paper presents the application of superconducting / semi-conducting compatible technology in microelectronic technology and the fabrication of superconducting / semi-conducting compatible materials and the superconducting / semi-conducting compatible technology Including superconducting leads, superconducting / semiconducting compatible devices and ICs, and superconducting / semiconducting hybrid ICs.
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