【摘 要】
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本文综述了目前多晶硅中施主杂质含量的定量分析方法,方法主要包括低温傅立叶红外光谱法、二次离子质谱法,并对每种方法做了介绍及并对每一种方法的现状做了简要的论述。高纯
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本文综述了目前多晶硅中施主杂质含量的定量分析方法,方法主要包括低温傅立叶红外光谱法、二次离子质谱法,并对每种方法做了介绍及并对每一种方法的现状做了简要的论述。高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料,在未来的50年里,还不可能有其他材料能够替代硅材料而成为电子和光伏产业主要原材料。近几年中国的多晶硅产品质量、市场规模已远远超过全球国家,随着技术的进步,对多晶硅产品的质量要求越来越高,多晶硅中杂质的组成及含量是衡量多晶硅产品质量的重要指标之一,由于其杂质组成复杂,含量低于常规检测方法检出限,这就使对多
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