基于TiN的窄线宽红外滤波器件研究

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近红外滤波器件在通信系统、夜视成像系统中均有广泛的应用.本文提出基于ZrN材料的滤波器件,并通过仿真分析了结构参数变化对其滤波特性的影响.通过仿真优化获得了中心波长位于1.5μm的超窄线宽透射曲线,最终透射曲线半峰宽达到12 nm.该研究为低成本的红外滤波器件提供了一种可行途径.
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