【摘 要】
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回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜 (包括锡掺杂的三氧化二铟ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等 )的研究进展情况。报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院,山东大学物理与微电子学院,山东大学物理与微电子学院,山东大学物理与微电子学院,山东大学物理与微电子学院,山东师范大学物理系,山东大学物理与微电子学院,山东大学物理与微电子学院
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回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜 (包括锡掺杂的三氧化二铟ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等 )的研究进展情况。报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系 ,给出了在此领域内应进一步进行的工作
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