【摘 要】
：
为了降低振动、气流冲击以及外界杂质对压力传感器检测性能及可靠性的影响,满足压力探针与MEMS压力传感器一体化集成设计的要求,设计了一种单电阻贴片式MEMS压力传感器。通过
【机 构】
：
航空发动机高空模拟技术重点实验室,中国航发四川燃气涡轮研究院
论文部分内容阅读
为了降低振动、气流冲击以及外界杂质对压力传感器检测性能及可靠性的影响,满足压力探针与MEMS压力传感器一体化集成设计的要求,设计了一种单电阻贴片式MEMS压力传感器。通过在压敏薄膜下方制作压敏电阻的方式,并通过硅一玻璃阳极键合工艺实现对压敏电阻的真空封装,以隔离传感器使用环境中杂质颗粒对检测性能的影响;另外,在压敏薄膜上方设计两个大尺寸焊盘,通过锡焊(或纤焊)技术实现传感器芯片与外部电路的可靠连接,使传感器在在强振动和冲击载荷环境下仍能正常工作。通过与高精度压力传感对比标定,结果表明:在25~125℃温度
其他文献
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
近年来,生物技术在食品保鲜领域的应用引起了人们的广泛关注,其以安全、无毒、高效及低成本的优势成为食品加工行业的"新宠"。基于此,本文对生物技术进行简要概述,并在此基础
目的：研究苦温燥湿法对湿阻中焦证在水糖代谢失调方面的作用机制,为中医脾主运化理论、为中焦湿阻证的认识、为临床应用苦温燥湿法治疗中焦湿阻证提供实验依据。方法：采用前期
作为中国四大奇书之首,《金瓶梅》在中国文学史上有着不可磨灭的地位。在书中,作者通过对大小人物的详细刻画,凸出某些典型人物的形象,揭露了明代后期封建制度下社会的腐败和
抵销为债之消灭原因之一，其基本功能是使债之双方所互负债务相互扣抵，从而完成清偿并免予强制执行，是一种方便的债务消灭方式。但我国除合同法及其司法解释对抵销有所规定外，其他
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield