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归纳了近几年来不同PET装置上真空系统的发展过程,介绍了低温短流程PET装置真空系统工艺流程组成、原理及特点,通过与国内外PET技术的真空系统比较,该系统具有高效节能并且操控灵活等特点;主要从EG循环系统及真空动力系统2个方面,分析了该真空系统运转的影响因素和常见问题,并提出了处理方法和日常维护措施。