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对一种基于激光聚焦伺服式传感器的激光聚焦伺服式轮廓仪的基本原理进行了阐述，给出了整体设计方案，并对测量过程中聚焦检测信号模型进行了分析．结果表明，聚焦检测光路可通过选取适当的参数来获得理想的聚焦检测信号．
激光聚焦伺服式轮廓仪聚焦检测信号模型分析
【摘 要】
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对一种基于激光聚焦伺服式传感器的激光聚焦伺服式轮廓仪的基本原理进行了阐述，给出了整体设计方案，并对测量过程中聚焦检测信号模型进行了分析．结果表明，聚焦检测光路可通过选取
【机 构】
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湖北工业大学机械工程学院
【出 处】
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湖北工业大学学报
【发表日期】
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2008年1期
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