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JEOLJEM-21OOF场发射透射电子显微镜是由日本电子株式会社制造的大型精密仪器。随着计算机技术和微电子技术的应用，使其控制变得简单，自动化程度大大提高，整体性能得到进一步提升。该仪器的主要特点是亮度高，柬斑小，分辨率高，新式侧插测角台更容易倾转、旋转等等。JEM-21OOF场发射透射电子显微镜广泛应用于材料科学、生命科学、医学等领域，以及半导体、纳米材料等行业。本文介绍JEOLJEM-21OOF场发射透射电子显微镜的使用方法，通过系统分析，对透射电镜的维护保养工作提出了一些建议。