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基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关
基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq635306700
【摘 要】
:
在低损耗的微波和毫米波电路中,静电驱动的射频微机械(MEMS)开关表现出巨大的应用前景.和传统的半导体开关相比,由于在结构上消除了金属-半导体结和PN结,MEMS开关具有极其优
【作 者】
:
郑惟彬
黄庆安
李拂晓
【机 构】
:
东南大学MEMS教育部重点实验室,南京
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
砷化镓
MEMS
膜开关
射频微机械
毫米波电路
微波电路
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在低损耗的微波和毫米波电路中,静电驱动的射频微机械(MEMS)开关表现出巨大的应用前景.和传统的半导体开关相比,由于在结构上消除了金属-半导体结和PN结,MEMS开关具有极其优越的高频特性,例如MEMS开关具有极低的插入损耗和较高的隔离度.
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