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本文在大量数据的基础上,通过软件对多晶硅碳含量和回收氢气中甲烷含量进行相关性和回归性分析,结果表明:当回收氢中甲烷含量大于 2ppmv时,其与多晶硅碳含量具有显著高度正相相关关系;当回收氢中甲烷含量小于2ppmv时,其与多晶硅碳含量不具有显著性相关关系.
多晶硅中碳和回收氢气中甲烷含量相关性和回归性分析
【摘 要】
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本文在大量数据的基础上,通过软件对多晶硅碳含量和回收氢气中甲烷含量进行相关性和回归性分析,结果表明:当回收氢中甲烷含量大于 2ppmv时,其与多晶硅碳含量具有显著高度正相
【机 构】
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陕西天宏硅材料有限责任公司,陕西咸阳,712038
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2015年26期
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