40Cr钢表面离子镀TiAlN涂层的膜基结合力研究

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采用多弧离子镀的方法在齿轮材料40Cr钢基体表面上制备TiAlN涂层,分析了工艺参数对涂层与基体结合力的影响。结果表明,随着基体负偏压的增加,膜基结合力增强,当超过某一最大值时膜基结合力会逐渐下降。随着N_2分压的增加,膜基结合力逐渐增强。 The multi-arc ion plating method was used to prepare TiAlN coating on the surface of gear steel 40Cr steel. The influence of process parameters on the adhesion between coating and substrate was analyzed. The results show that with the increase of the substrate negative bias, the bonding strength of the film base increases, and the bonding strength of the film base decreases gradually when a certain maximum is exceeded. With the increase of N 2 partial pressure, the bonding strength of film base gradually increases.
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