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简述了集成电路测试数据的一些处理方法，包括临界数据的处理、异常数据的判定和剔除、测试结果有效位数的确定等；介绍了在进行集成电路性能参数测试时需要考虑的几个关键因素；对测量误差和减小测量误差的方法进行分析，使测试人员可对原始数据进行比较合理的处理；使测试值与被测集成电路的性能真值更加接近，避免对电路合格与否做出误判，从而使检验工作更加准确无误。