【摘 要】
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提出一种新型的金属与聚乙烯薄膜层间有机黏合方法,能够实现薄膜层之间的有机黏合。该方法基于大气压Ar/O2介质阻挡放电对聚乙烯薄膜表面改性预处理,利用射频电感耦合等离子
【机 构】
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南昌大学物理系,大连理工大学物理与光电工程学院
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提出一种新型的金属与聚乙烯薄膜层间有机黏合方法,能够实现薄膜层之间的有机黏合。该方法基于大气压Ar/O2介质阻挡放电对聚乙烯薄膜表面改性预处理,利用射频电感耦合等离子体增强非平衡磁控溅射系统在预处理的聚乙烯薄膜表面镀铜膜。研究结果表明,介质阻挡放电处理聚乙烯薄膜表面,引入了氧原子功能团（C—O,C=O,O—C=O等）,导致薄膜表面自由能的增加。此外,这种方法得到的薄膜层之间黏着强度为1.5 MPa;而铜膜与未进行等离子体预处理聚乙烯之间的黏着强度仅为0.8 MPa。此外,SEM照片也显示,经过等离子体预处
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