【摘 要】
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材料的色散会影响镜面间隔的测量精度，为了提高光学干涉法测量镜面间隔的精度，对材料色散效应进行理论分析和数值仿真，分别对LAK9、ZF6、H-ZF2、BAK7、K9 光学玻璃进行仿真测试，得到了干涉信号峰值偏移量关系式，信号峰值偏移量与材料的一阶色散系数成正比。为了验证该关系式的正确性，搭建了一个镜面间隔测量实验平台，实验测量得到的干涉信号最大值偏移量与仿真测试结果的相对误差小于2%，考虑到实验过程中的误差因素，证明仿真测试得到的结果是正确的。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春130033中国科学院大学,北京100049
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材料的色散会影响镜面间隔的测量精度，为了提高光学干涉法测量镜面间隔的精度，对材料色散效应进行理论分析和数值仿真，分别对LAK9、ZF6、H-ZF2、BAK7、K9 光学玻璃进行仿真测试，得到了干涉信号峰值偏移量关系式，信号峰值偏移量与材料的一阶色散系数成正比。为了验证该关系式的正确性，搭建了一个镜面间隔测量实验平台，实验测量得到的干涉信号最大值偏移量与仿真测试结果的相对误差小于2%，考虑到实验过程中的误差因素，证明仿真测试得到的结果是正确的。
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